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パラメータ名
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パラメータ値
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設置面積
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30.4m*17.5m*3.2m(カスタマイズ可能)
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設備故障率
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設備故障率 2%未満、ライン全体故障率 3%未満
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平均故障間隔
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アラームを除く 5分未満
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タクトタイム
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25ppm/セル
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合格率
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設備合格率≥ 99%、最終合格率 ≥ 99.5%
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