UW Laser's Semiconductor COS Inspection & Cleaning Machine لتحسين موثوقية حزم الرقائق

مقدمة

في ظل النمو السريع لاتصالات الجيل الخامس والصناعات الجديدة للطاقة والكهروبصريات، حظيت أداء وموثوقية المكونات الكهروبصريات الأساسية مثل مصادر ضخ الليزر وأجهزة الاتصالات البصرية باهتمام واسع في الصناعة. كعنصر رئيسي في رقائق الليزر، تحدد نظافة الوجه النهائي وعيوب السطح لجهاز COS (شريحة على دعامة) بشكل مباشر كفاءة الإضاءة للرقاقة، وأداء تبديد الحرارة، وعمر الخدمة. يعاني الفحص والتنظيف اليدوي التقليدي من انخفاض الكفاءة وضعف الاتساق، ولا يمكنه تلبية متطلبات النظافة الصارمة على مستوى الميكرون للإنتاج الضخم للأجهزة عالية الطاقة، مما يشكل عنق زجاجة رئيسي في العملية يقيد تحسين جودة المنتجات الكهروبصرية.

بالاعتماد على خبرة تزيد عن عقدين في معالجة الليزر الدقيقة والأتمتة، أطلقت UW Laser، من خلال شركتها التابعة لمعدات أشباه الموصلات Jiangsu UW Semiconductor Technology Co., Ltd.، آلة فحص وتنظيف COS المطورة ذاتيًا. تقدم حلاً متكاملاً للفحص والتنظيف لأجهزة COS، مما يساعد صناعة الكهروبصريات أشباه الموصلات على التغلب على اختناقات عملية التعبئة والتغليف.

آلة فحص وتنظيف COS

آلة UW COS للفحص والتنظيف هي نظام فحص وتنظيف متطور ومتكامل مصمم خصيصًا لمنتجات رقائق الليزر COS. من خلال دمج فحص رؤية الآلة وتقنيات التنظيف بالنفث الثلجي CO₂ الصديقة للبيئة، تقوم بإجراء فحص شامل على الواجهات النهائية N-side و P-side و AR (طلاء مضاد للانعكاس) و HR (طلاء عالي الانعكاس) للرقائق. كما أنها توفر تنظيفًا دقيقًا للملوثات على أسطح AR، مع معدل إزالة للبقع السوداء والجسيمات السائبة والشحوم بنسبة 40٪.

تتميز الآلة بدقة فحص تبلغ ±2 ميكرومتر ودقة اكتشاف تبلغ ≥99.5٪، بينما تصل كفاءة التنظيف إلى 70٪ (الأداء الفعلي يخضع لظروف المواد الواردة)، مما يضمن عمليات فحص وتنظيف عالية الموثوقية.

من حيث الإنتاجية، يتجاوز إجمالي UPH (وحدة في الساعة) 500 وحدة في الساعة في وضع الفحص فقط، ووقت الدورة (CT) لتنظيف الشريحة الواحدة لا يزيد عن 5 ثوانٍ. بالنسبة لسير العمل الكامل الذي يجمع بين الفحص والتنظيف الكاملين، تظل UPH ثابتة فوق 300 وحدة في الساعة.

من خلال اعتماد تحميل حزم الويفر المكدسة، تدعم المعدات حزم الويفر مقاس 4 بوصات و 2 بوصة. يتم تحقيق تغيير المنتج عبر محولات، مع التحكم في وقت التغيير في غضون ساعة واحدة لكل وحدة، مما يحسن بشكل فعال مرونة خط الإنتاج والإنتاجية.

المزايا والميزات

تحديد المواقع والفحص عالي الدقةالنهايةعملية تنظيف فعالة وصديقة للبيئة

من خلال اعتماد تقنية التنظيف بالنفث الثلجي CO₂ الصديقة للبيئة المطورة ذاتيًا، توفر أداء تنظيف موثوقًا به مع بقائها آمنة ومستدامة بيئيًا. تتميز بإنتاجية تنظيف عالية: UPH ≥ 500 وحدة في الساعة في وضع التنظيف فقط، مع وقت دورة الجزء الواحد (CT) ≤ 5 ثوانٍ، مما يعزز إيقاع الإنتاج بشكل كبير.

تكامل عالٍ وإنتاجية شاملةالنهايةتوافق ومرونة ممتازة

تم تصميم هيكل التحميل لحزم الويفر مقاس 4 بوصات كمعيار. يتيح المحول التوافق مع حزم الويفر مقاس 2 بوصة لاستيعاب المنتجات ذات المواصفات المختلفة. يتم تحقيق تغيير المنتج السريع في غضون ≤ 1 ساعة لكل وحدة، مما يقلل بشكل كبير من وقت توقف خط الإنتاج للتغيير.

تحميل مكدس تلقائيالنهاية·النهاية·

كعنصر أساسي في رقائق الليزر، تحدد عمليات فحص وتنظيف أجهزة COS بشكل مباشر كفاءة الإضاءة وعمر الخدمة للمنتجات النهائية. بفضل دقة تحديد المواقع على مستوى الميكرون، وتقنية التنظيف الفعالة والصديقة للبيئة، وسير العمل المؤتمت بدرجة عالية، تعالج آلة UW COS للفحص والتنظيف بفعالية نقاط الألم المتمثلة في انخفاض الكفاءة وضعف الاتساق في العمليات التقليدية، مما يوفر ضمانًا موثوقًا للعملية للإنتاج الضخم لأجهزة الليزر عالية الطاقة.

كذراع استراتيجي رئيسي لـ UW Laser في قطاع أشباه الموصلات، قامت شركة Jiangsu United Winners Semiconductor Technology Co., Ltd. ببناء مجموعة شاملة من المعدات التي تغطي ربط الشرائح، والفحص، والمعالجة الدقيقة بالليزر، واللحام الدقيق. تُستخدم منتجاتها على نطاق واسع في IGBT، والاتصالات، والميكروويف، ومصادر ضخ الليزر، وغيرها من المجالات. للمضي قدمًا، ستواصل UW Semiconductor التركيز على التصنيع الدقيق لأشباه الموصلات، ودعم التقدم المطرد لصناعة أشباه الموصلات المحلية بمعدات وخدمات فائقة.