UW Laser’s Semiconductor COS Inspection & Cleaning Machine for More Reliable Chip Packaging

مقدمه

با توجه به رشد سریع ارتباطات 5G، صنایع انرژی نو و اپتوالکترونیک، عملکرد و قابلیت اطمینان اجزای کلیدی اپتوالکترونیک مانند منابع پمپ لیزر و دستگاه‌های ارتباط نوری توجه گسترده‌ای را در صنعت به خود جلب کرده است. به عنوان یک جزء کلیدی از تراشه‌های لیزر، تمیزی سطح انتهایی و نقص‌های سطحی دستگاه COS (تراشه روی زیرلایه) مستقیماً راندمان نوری تراشه، عملکرد دفع حرارت و عمر مفید آن را تعیین می‌کند. بازرسی و تمیزکاری دستی سنتی از بهره‌وری پایین و سازگاری ضعیف رنج می‌برد و به سختی می‌تواند الزامات تمیزی در سطح میکرون را برای تولید انبوه دستگاه‌های پرقدرت برآورده کند و یک گلوگاه فرآیندی مهم را تشکیل می‌دهد که کیفیت محصولات اپتوالکترونیک را محدود می‌کند.

UW Laser با بهره‌گیری از بیش از دو دهه تخصص در پردازش لیزر دقیق و اتوماسیون، از طریق شرکت تابعه تجهیزات نیمه‌هادی خود، Jiangsu UW Semiconductor Technology Co., Ltd.، دستگاه بازرسی و تمیزکاری COS را که خود توسعه داده است، راه‌اندازی کرده است. این دستگاه راه‌حل یکپارچه بازرسی و تمیزکاری را برای دستگاه‌های COS ارائه می‌دهد و به صنعت اپتوالکترونیک نیمه‌هادی در غلبه بر گلوگاه‌های فرآیند بسته‌بندی کمک می‌کند.

دستگاه بازرسی و تمیزکاری COS

دستگاه بازرسی و تمیزکاری COS UW یک سیستم بازرسی و تمیزکاری پیشرفته و همه‌کاره است که به طور سفارشی برای محصولات تراشه لیزر COS ساخته شده است. این دستگاه با ادغام بازرسی دید ماشینی و فناوری‌های تمیزکاری با جت برف CO2 سازگار با محیط زیست، بازرسی جامعی را بر روی سطوح انتهایی تراشه‌ها در سمت N، سمت P، AR (پوشش ضد انعکاس) و HR (پوشش بازتاب بالا) انجام می‌دهد. همچنین تمیزکاری دقیقی را برای آلاینده‌ها روی سطوح AR با نرخ حذف 40% لکه‌های سیاه، ذرات شل و گریس ارائه می‌دهد.

این دستگاه دارای دقت بازرسی ±2 میکرومتر و دقت تشخیص ≥99.5% است، در حالی که راندمان تمیزکاری آن 70% است (عملکرد واقعی به شرایط مواد ورودی بستگی دارد) و از عملیات بازرسی و تمیزکاری با قابلیت اطمینان بالا اطمینان حاصل می‌کند.

از نظر توان عملیاتی، UPH کلی آن در حالت فقط بازرسی از 500 قطعه در ساعت فراتر می‌رود و زمان چرخه (CT) برای تمیزکاری تک تراشه بیش از 5 ثانیه نیست. برای کل فرآیند کاری که شامل بازرسی کامل و تمیزکاری است، UPH به طور پیوسته بالاتر از 300 قطعه در ساعت باقی می‌ماند.

این تجهیزات با استفاده از بارگذاری بسته‌بندی وافل پشته‌ای، از بسته‌بندی‌های وافل 4 اینچی و 2 اینچی پشتیبانی می‌کند. تغییر محصول از طریق آداپتورها انجام می‌شود و زمان تغییر محصول در هر واحد در عرض یک ساعت کنترل می‌شود و به طور موثر انعطاف‌پذیری و بهره‌وری خط تولید را بهبود می‌بخشد.

مزایا و ویژگی‌ها

موقعیت‌یابی و بازرسی با دقت بالاپایانفرآیند تمیزکاری کارآمد و سازگار با محیط زیست

با اتخاذ فناوری تمیزکاری با جت برف CO2 سازگار با محیط زیست که خود توسعه داده شده است، عملکرد تمیزکاری قابل اعتماد را ارائه می‌دهد و در عین حال ایمن و پایدار از نظر زیست‌محیطی باقی می‌ماند. این دستگاه دارای توان عملیاتی تمیزکاری بالا است: UPH ≥ 500 قطعه در ساعت در حالت فقط تمیزکاری، با زمان چرخه قطعه منفرد (CT) ≤ 5 ثانیه، که ریتم تولید را به شدت افزایش می‌دهد.

یکپارچگی بالا و بهره‌وری سرتاسریپایانسازگاری و انعطاف‌پذیری عالی

ساختار بارگذاری به عنوان استاندارد برای بسته‌بندی‌های وافل 4 اینچی طراحی شده است. یک آداپتور سازگاری با بسته‌بندی‌های وافل 2 اینچی را برای جای دادن محصولات با مشخصات مختلف امکان‌پذیر می‌سازد. تغییر محصول سریع در عرض ≤ 1 ساعت در هر واحد حاصل می‌شود و زمان توقف تغییر خط تولید را به طور قابل توجهی کاهش می‌دهد.

بارگذاری خودکار پشته‌ایپایان•پایان•

به عنوان یک جزء کلیدی تراشه‌های لیزر، فرآیندهای بازرسی و تمیزکاری دستگاه‌های COS مستقیماً راندمان نوری و عمر مفید محصولات نهایی را تعیین می‌کنند. دستگاه بازرسی و تمیزکاری COS UW با دقت موقعیت‌یابی در سطح میکرون، فناوری تمیزکاری سازگار با محیط زیست و کارآمد، و گردش کارهای بسیار خودکار، به طور موثر به نقاط دردناک بهره‌وری پایین و سازگاری ضعیف در فرآیندهای سنتی رسیدگی می‌کند و تضمین فرآیند قابل اعتماد را برای تولید انبوه دستگاه‌های لیزر پرقدرت ارائه می‌دهد.

Jiangsu United Winners Semiconductor Technology Co., Ltd. به عنوان یک بازوی استراتژیک کلیدی UW Laser در بخش نیمه‌هادی، مجموعه تجهیزات جامعی را پوشش‌دهنده اتصال تراشه، بازرسی، پردازش میکرو لیزر و جوشکاری دقیق ایجاد کرده است. محصولات آن به طور گسترده در IGBT، ارتباطات، مایکروویو، منبع پمپ لیزر و سایر زمینه‌ها مستقر شده‌اند. در آینده، UW Semiconductor به تمرکز بر تولید دقیق نیمه‌هادی ادامه خواهد داد و با تجهیزات و خدمات برتر از پیشرفت پایدار صنعت نیمه‌هادی داخلی حمایت خواهد کرد.