UW 레이저의 반도체 COS 검사 및 세척 장비로 더욱 안정적인 칩 패키징

소개

5G 통신, 신에너지 및 광전자 산업의 급속한 성장 속에서 레이저 펌프 소스 및 광통신 장치와 같은 핵심 광전자 부품의 성능과 신뢰성이 업계의 폭넓은 주목을 받고 있습니다. 레이저 칩의 핵심 부품인 COS(Chip on Submount) 장치의 단면 청결도와 표면 결함은 칩의 발광 효율, 열 방출 성능 및 수명을 직접적으로 결정합니다. 기존의 수동 검사 및 세척은 효율성이 낮고 일관성이 떨어지며, 고출력 장치의 대량 생산에 필요한 마이크론 수준의 엄격한 청결도 요구 사항을 충족하기 어렵기 때문에 광전자 제품의 품질 개선을 제한하는 주요 공정 병목 현상을 형성합니다.

20년 이상의 정밀 레이저 가공 및 자동화 전문성을 바탕으로 UW Laser는 반도체 장비 자회사인 Jiangsu UW Semiconductor Technology Co., Ltd.를 통해 자체 개발한 COS 검사 및 세척기를 출시했습니다. 이 장비는 COS 장치를 위한 통합 검사 및 세척 솔루션을 제공하여 반도체 광전자 산업이 패키징 공정 병목 현상을 극복하도록 돕습니다.

COS 검사 및 세척기

UW COS 검사 및 세척기는 COS 레이저 칩 제품을 위해 맞춤 제작된 고급 올인원 검사 및 세척 시스템입니다. 머신 비전 검사 및 친환경 CO₂ 드라이아이스 세척 기술을 통합하여 칩의 N면, P면, AR(반사 방지 코팅) 및 HR(고반사 코팅) 단면에 대한 포괄적인 검사를 수행합니다. 또한 AR 표면의 오염 물질에 대한 정밀 세척을 제공하며, 검은 점, 느슨한 입자 및 그리스 제거율은 40%입니다.

이 장비는 ±2μm의 검사 정확도와 ≥99.5%의 감지 정확도를 특징으로 하며, 세척 효율은 70%(실제 성능은 입고 재료 조건에 따라 다름)로 높은 신뢰성의 검사 및 세척 작업을 보장합니다.

처리량 측면에서 검사 전용 모드의 전체 UPH는 500 PCS/H를 초과하며, 단일 칩 세척의 사이클 시간(CT)은 5초 이하입니다. 완전한 검사 및 세척을 포함하는 전체 워크플로우의 경우 UPH는 300 PCS/H 이상으로 꾸준히 유지됩니다.

적층 와플 팩 로딩을 채택한 이 장비는 4인치 및 2인치 와플 팩을 모두 지원합니다. 제품 전환은 어댑터를 통해 이루어지며, 전환 시간은 유닛당 1시간 이내로 제어되어 생산 라인의 유연성과 생산성을 효과적으로 향상시킵니다.

장점 및 특징

고정밀 위치 지정 및 검사종료효율적이고 친환경적인 세척 공정

자체 개발한 친환경 CO₂ 드라이아이스 세척 기술을 채택하여 신뢰할 수 있는 세척 성능을 제공하는 동시에 안전하고 환경적으로 지속 가능합니다. 높은 세척 처리량을 특징으로 합니다: 세척 전용 모드에서 UPH ≥ 500 PCS/H, 단일 부품 사이클 시간(CT) ≤ 5초로 생산 리듬을 크게 향상시킵니다.

높은 통합 및 엔드투엔드 생산성종료뛰어난 호환성 및 유연성

로딩 구조는 표준으로 4인치 와플 팩을 위해 설계되었습니다. 어댑터를 통해 2인치 와플 팩과 호환되어 다양한 사양의 제품을 수용할 수 있습니다. 빠른 제품 전환은 유닛당 ≤ 1시간 이내에 달성되어 생산 라인 전환 다운타임을 크게 줄입니다.

자동 적층 로딩종료·종료·

레이저 칩의 핵심 부품으로서 COS 장치의 검사 및 세척 공정은 최종 제품의 발광 효율과 수명을 직접적으로 결정합니다. 마이크론 수준의 위치 지정 정확도, 친환경적이고 효율적인 세척 기술, 고도로 자동화된 워크플로우를 자랑하는 UW COS 검사 및 세척기는 기존 공정의 낮은 효율성과 일관성 부족이라는 문제점을 효과적으로 해결하여 고출력 레이저 장치의 대량 생산을 위한 신뢰할 수 있는 공정 보증을 제공합니다.

UW Laser의 반도체 부문 핵심 전략 부서로서 Jiangsu United Winners Semiconductor Technology Co., Ltd.는 다이 어태치, 검사, 레이저 마이크로 가공 및 정밀 용접을 포괄하는 포괄적인 장비 포트폴리오를 구축했습니다. 이 회사의 제품은 IGBT, 통신, 마이크로파, 레이저 펌프 소스 및 기타 분야에 널리 배치됩니다. 앞으로 UW Semiconductor는 반도체 정밀 제조에 계속 집중하고 우수한 장비와 서비스를 통해 국내 반도체 산업의 꾸준한 발전을 지원할 것입니다.