| ชื่อแบรนด์: | UW |
| ขั้นต่ำ: | 1เซ็ต |
| ราคา: | ต่อรองได้ |
| เงื่อนไขการจ่ายเงิน: | ที/ที |
แนะนำอุปกรณ์
ระบบเลเซอร์ของอุปกรณ์ใช้เลเซอร์พลังงานความหนาแน่นสูงแบบทันทีเพื่อให้เกิดการกัดและการระเหย โดยจะลอกชั้นมาสก์หรือฟิล์มไดอิเล็กทริกออกอย่างเลือกสรร และใช้ในการลอกชั้น BSG ออกจากพื้นที่ที่กำหนดของเวเฟอร์แบตเตอรี่ รองรับระบบโหลดและขนถ่ายอัตโนมัติ เข้ากันได้กับระบบ AGV ของลูกค้าในพื้นที่ โหลดแคสเซ็ตตัวพาจาก AGV ไปยังสายพานลำเลียงโหลดของอุปกรณ์โดยอัตโนมัติ หยิบเวเฟอร์ซิลิคอนออกจากแคสเซ็ตโดยอัตโนมัติ ลำเลียงไปยังสถานีทำเครื่องหมายด้วยเลเซอร์โดยตรง ทำเครื่องหมายด้วยเลเซอร์หลังจากการวางตำแหน่งด้วยภาพ CCD และส่งไปยังแคสเซ็ตขนถ่ายผ่านสายพานลำเลียงขนถ่าย จากนั้นแคสเซ็ตเต็มจะถูกขนส่งไปยัง AGV ในพื้นที่โดยสายพานลำเลียง
จุดเด่น
พารามิเตอร์ทางเทคนิค
| ประสิทธิภาพอุปกรณ์ | พารามิเตอร์ข้อมูลจำเพาะ |
| โหมดการทำงาน | โหมดออฟไลน์ |
| ขนาดแบตเตอรี่ที่ใช้ได้ | เข้ากันได้กับขนาดสูงสุด 230*230 มม. (มีตัวเลือกการปรับแต่งแบบกึ่งเซลล์) |
| ความหนาแบตเตอรี่ที่ใช้ได้ | 150±50 ไมโครเมตร |
| วิธีการโหลด/ขนถ่าย | เข้ากันได้กับหุ่นยนต์ AGV |
| ความแม่นยำของกราฟิก | ±15 ไมโครเมตร |
| ความแม่นยำในการวางตำแหน่ง | ความแม่นยำในการจับขอบ (ความสามารถในการทำซ้ำ): ≤ ±15 ไมโครเมตร @ 182 มม.; ความแม่นยำในการจับจุด: ≤ ±10 ไมโครเมตร @ 182 มม. |
| ตัวอย่างความจุเครื่อง |
ความจุตามทฤษฎี: (อิงตามเวลาประมวลผลกราฟิกการลอกฟิล์มด้วยเลเซอร์) การผ่านเลเซอร์ครั้งเดียว: >7200 ชิ้น/ชม. สำหรับขนาด 182*91; >6000 ชิ้น/ชม. สำหรับขนาด 182*105 การผ่านเลเซอร์สองครั้ง: >7500 ชิ้น/ชม. สำหรับขนาด 182*91; >7000 ชิ้น/ชม. สำหรับขนาด 182*105 |
| อัตราเศษชิ้นส่วน | ≤ 0.02% |
| การกำหนดค่า | Dual-Track 4-Head หรือ Dual-Track 2-Head |
| ขนาดจุด | จุดที่เป็นเนื้อเดียวกันแบบสี่เหลี่ยมแบนด้านบน ขนาดที่ปรับแต่งได้ตั้งแต่ 100 ถึง 500 ไมโครเมตร |