장비 소개
장비의 레이저 시스템은 절제 및 증발을 달성하기 위해 즉각적인 고 에너지 밀도 레이저를 사용하여 마스크 또는 다이 일렉트릭 필름을 선택적으로 제거합니다.그리고 배터리 웨이퍼의 지정된 부위에서 BSG 층을 제거하는 데 사용됩니다.그것은 자동 로딩 및 릴딩 시스템을 지원합니다. 고객의 현장 AGV 시스템과 호환됩니다.캐세트 캐세트는 AGV에서 자동으로 장비의 로딩 컨베이어 벨트에 로드됩니다.; 실리콘 웨이퍼는 카세트에서 자동으로 수집되고 레이저 마크링 스테이션으로 직접 전달되며, CCD 시각적 위치 설정 후 레이저로 표시됩니다.그리고 그 다음에 배하 카세트에 배하 컨베이어 띠를 통해 전송전체 카세트는 컨베이어 벨트로 현장 AGV로 운반됩니다.
주요 내용
기술 매개 변수
| 장비 성능 | 사양 매개 변수 |
| 작동 모드 | 오프라인 모드 |
| 적용 가능한 배터리 크기 | 최대 230*230mm까지의 크기와 호환됩니다 (반 셀 사용자 정의가 가능합니다) |
| 적용 가능한 배터리 두께 | 150±50μm |
| 부하/부하 방법 | AGV 로봇 호환 |
| 그래픽 정확성 | ±15μm |
| 위치 정확성 | 가장자리 포착 정확성 (반복 가능성): ≤ 15μm @ 182mm; 포인트 포착 정확성: ≤ 10μm @ 182mm |
| 기계 용량 예제 |
이론적 용량: (레이저 필름 제거 그래픽 처리 시간에 기초) 싱글 레이저 패스: 182*91 크기의 경우 >7200 PC/h; 182*105 크기의 경우 >6000 PC/h 듀얼 레이저 패스: 182*91 사이즈에 >7500 pcs/h; 182*105 사이즈에 >7000 pcs/h |
| 분해율 | ≤ 0.02% |
| 구성 | 듀얼 트랙 4 헤드 또는 듀얼 트랙 2 헤드 |
| 점 크기 | 정면 평면형 호모게네이즈드 스팟, 크기는 100~500μm까지 조정할 수 있다. |