装置概要
本装置は、高エネルギーレーザーでセル表面を照射し、キャリアを励起させて局所的に高密度な電流を発生させます。これにより、金属電極線とシリコン基板間の相互拡散が引き起こされ、優れたオーミックコンタクトが形成され、接触抵抗が効果的に低減されます。同時に、大面積のパッシベーション層へのダメージを回避し、開放電圧と短絡電流を向上させ、太陽電池の変換効率を大幅に向上させます。
主な特徴
・自社開発のUWレーザーと特殊光学系を採用。スポットサイズとエネルギー分布を調整可能。
・高速ガルバノスキャナー+高速DDモーターを採用。サイクルタイム≤0.75秒で、スクリーン印刷ラインの速度要求に対応。
・柔軟なリニアローディング/アンローディングモジュールを採用。高速かつ低破損率。
・オフライン/オンラインモードに対応。オフラインローディングとオンライン緊急アンローディングは独立して動作。大容量で使いやすい。
・カスタム輸入プローブアレイと高導電性ステージを採用。長寿命、高性能、低破損率。
・0BB対応。エリアスキャンプロセスを最適化し、ラインスキャンと比較して効率を0.05%向上。
技術パラメータ
| 装置性能 | 仕様 |
| 動作モード | オンラインおよびオフラインの生産モードの両方をサポート |
| 適用セルサイズ | セル≤230×230 mmに対応(ハーフセルはカスタマイズ可能) |
| 適用セル厚さ | 150±50μm |
| ローディング/アンローディング方法 |
オンライン:スクリーン印刷焼成炉ベルトに接続 オフライン:カセットローディング/アンローディング |
| 加工精度 | ±15μm |
| パターン繰り返し精度 | ≤±10μm |
| プロセス効率向上 | >0.3%(業界最先端レベルを下回らない) |
| 装置能力 |
182×182 mm:≥9,500枚/時(デュアルチャンネル、フィンガー≤220) 210×210 mm:≥9,000枚/時(デュアルチャンネル) |
| 破損率 | ≤0.015% @182*182mm, ≤0.02% @210*210mm |
| 装置寸法(長さ×幅×高さ) | 3616*1190*2250mm |