장비 개요
이 장비는 듀얼 드라이브 게트리 플랫폼과 맞춤식 공급 시스템을 채택합니다. 그것은 젤 팩, 웨이퍼 팩, 블러스터 트레이와 특수 장착장치와 호환됩니다.펌프 소스 산업의 마이크로 어셈블리 애플리케이션에 적합하게 만드는.
주요 내용
기술 사양
| 매개 변수 이름 | 사양 |
| 사이클 시간 | 1.5s (제품에 따라) |
| XY 위치 정확성 | ±20μm @ 3σ (표준 도형 정확도) |
| 다이 로테이션 | ±0.5° @ 3σ (제품에 따라) |
| 다이 사이즈 | 0.15×0.15mm - 5×5mm (제품에 따라 렌즈 변경이 필요합니다) |
| 맷 두께 | 0.076 - 1mm (3-40mil, 표준) 최소 0.05mm (2mil, 선택) |
| 납 프레임 크기 | L: 100-300mm; W: 40-90mm (<40mm의 사용자 정의가 필요합니다); H: 0.1-0.8mm (표준), 0.8 - 2.0mm (선택) |
| 트레이 크기 | (제품에 따라 고객에 의해 제공) |
| 크기 범위 | 200*250mm |
| 정렬 표준 | 중앙 클램핑, Y 방향 가장자리 정렬 |
| 결합력 | 20~300g (자격화 가능) |
| 픽업 방법 | 플리스터 트레이, 금속 트레이 |
| PR 시스템 | 256 회색 |
| 결의 | 5472 픽셀 × 3648 픽셀 (개정 가능) |
| PR 정확성 | FOV (16.4mmX10.9mm) |
| 각도 허용 | ±0.1° |
| 크기 | W: 1240mm; H: 1550mm; D: 1800mm (결품 제품에 따라) |
| 무게 | 1500KG (마지막 제품에 따라) |