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| 브랜드 이름: | UW |
| MOQ: | 1세트 |
| 가격: | 협상 가능 |
| 지불 조건: | 티/티 |
장비 개요
이 장비는 최대 8인치 크기의 웨이퍼를 표시하고 ITO 유리에 MARK 점과 문자를 적을 수 있도록 설계되었습니다.
주요 내용
• 고 정밀 인식: 고 정밀 정렬 카메라 한 세트, 글로벌 인식 카메라 두 세트, 자검사 카메라 한 세트.
• 고 정밀 조립: 대리석 기단과 드라이브 축에 대한 고 정밀 선형 모터가 있습니다.
• 우수한 정확성: 높은 표시 정확성을 제공하며 표시 후 자체 검사 기능이 장착됩니다.
기술 사양
| 매개 변수 이름 | 매개 변수 값 |
| 대리석 위치 정확성 | ≤ 10μm (공동 평행성 / 평면성 / 세로성 / 평면성) |
| XY 반복성 | ±0.5μm |
| XY 직선 | 3μm (각 300mm 범위 내에서) |
| 레이저 Z축 반복성 | ±3μm |
| 결의 | 1920 픽셀 × 2560 픽셀 |
| 시력 정확성 | 1pix = 1μm (FOV 2mm 내) |
| 레이저 소스 | 피코초 레이저 |
| 파장 (nm) | 300nm - 600nm |
| 온도 매개 변수 | 온도 범위 10~40°C, ±0.1°C |
| 크기 | W: 1650mm; H: 1070mm; D: 1900mm (완전 제품에 따라) |
| 무게 | 1800KG (마지막 제품에 따라) |
| 크기 | 최대 8인치 |
| 웨이퍼 | 선 너비 ≤ 50μm, 위치 정밀도 ±0.01mm |
| ITO 유리 | 선 너비 ≤ 50μm, 위치 정밀도 ±0.01mm |
| 레이저 출력 모드 | 갈보 스캐너 / 출력 헤드 |
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