|
| الاسم التجاري: | UW |
| الـ MOQ: | 1 مجموعة |
| سعر: | قابل للتفاوض |
| شروط الدفع: | تي/تي |
مقدمة المعدات
أشعة الليزر تشع سطح PSG وتختمر في طبقة Poly حيث سطح طبقة Poly يمتص طاقة الفوتونات ويحولها إلى حرارةمما يسبب التوسع الحراري على سطح طبقة بوليالقوة الناتجة عن التوسع تدمر هيكل PSG وتقلل بشكل كبير من دقة ، لذلك يمكن إزالة PSG المعدلة عن طريق التنظيف القليلي بعد معالجة الليزر.
بعد أن يعمل الليزر بشكل انتقائي على PSG في المناطق غير المعدنية ، يمكن إزالة PSG و Poly و SiO2 في المناطق غير الشبكة بالتسلسل عن طريق التحكم في وقت التنظيف القليلي ،الحفر إلى 1-4 ميكرومتر في الركيزة السيليكونيةيتم الاحتفاظ بـ Poly في المناطق المعدنية لتشكيل بنية Poly-Finger ، مما يحقق مكاسب كفاءة قدرها 0.15٪ على مستوى الخلية وتحسينًا بشكل رئيسي في ثنائي الوجه على مستوى الوحدة.
أبرز النقاط
وظائف مساعدة متعددة لتحسين أداء العملية
• نظام التبريد تحت المنصة يتجنب التداخلات عالية درجة الحرارة ويوفر استقرار أفضل للعملية.
• مجهزة بغطاء خصيص لإزالة الغبار مع التنقيب عن التنفس لزيادة النظافة (البراءة) ؛
• يدعم وظائف التفتيش المختلفة بما في ذلك الكشف عن الشظايا ، وكشف الشقوق ، وتفتيش AOI.
تصميم عبقري للحد من عيوب النقل
• الحزام المزدوج المخصص والاتصال المباشر بالمحرك يضمن استقرارًا أعلى ويمنع تلوث الغبار بفعالية.
• الحزام المسطح الجديد يمنع بشكل فعال العيوب مثل الخدوش والشقوق
• السكين الهوائي على الجهاز يزيل الشظايا ويمنع الشقوق الخفية.
تصميم عبقري للحد من عيوب النقل
• الحزام المزدوج المخصص والاتصال المباشر بالمحرك يضمن استقرارًا أعلى ويمنع تلوث الغبار بفعالية.
• الحزام المسطح الجديد يمنع بشكل فعال العيوب مثل الخدوش والشقوق
• السكين الهوائي على الجهاز يزيل الشظايا ويمنع الشقوق الخفية.
معالجة الليزر لهياكل مختلفة من الأفلام
• الطرق التقنية المتنوعة ومواد طبقة الأقنعة
• مصادر ليزر متعددة مخصصة لتحقيق أقصى قدر من التطابق مع متطلبات العملية.
معالجة الليزر لهياكل مختلفة من الأفلام
• الطرق التقنية المتنوعة ومواد طبقة الأقنعة
• مصادر ليزر متعددة مخصصة لتحقيق أقصى قدر من التطابق مع متطلبات العملية.
تصميم عالمي مع توافق كبير
• وحدة التحميل والتفريغ تدعم طرق تغذية متعددة وأحجام مختلفة من الكاسيت.
• هيكل الارتفاع-الدوران مع موقف التخزين المؤقت الفريد للكاسيتات الفارغة
• يدعم وظائف التفتيش المختلفة بما في ذلك الكشف عن الشظايا ، وكشف الشقوق ، وتفتيش AOI.
المعلمات التقنية
| أداء المعدات | المواصفات |
| وضع العمل | متوافق مع 230×230 ملم وأحجام أصغر (يمكن تخصيص نصف الخلايا) |
| حجم الخلية المطبق | متوافق مع 230×230 ملم وأحجام أصغر (يمكن تخصيص نصف الخلايا) |
| سمك الخلية المطبق | 150±50μm |
| وضع التحميل والتفريغ | الروبوتات التي تربط المركبات |
| دقة معالجة الليزر | دقة PT ≤ ± 15 μm ، دقة الفاصل بين الخطوط ≤ ± 10 μm |
| تفتيش الرؤية ودقة تحديد الموقع | دقة تحديد الموقع ≤ ± 50 μm؛ الكشف عن الشظايا بكاميرا واحدة مع كاميرا 20 MP، دعم شظايا، كسر الزاوية وكشف الشظايا |
| السعة النموذجية للجهاز (مسار مزدوج ، رأس 4) | تصفية ليزر PSG: 9000 UPH/174 بسبار @ 182×182 مم |
| معدل التجزئة | ≤ 0.03% @210*210mm |
| التكوين | مزدوج المسار أربعة رؤوس أو مزدوج المسار رأسين |
| حجم البقعة | بقعة متجانسة مربعة مسطحة ، حجم 100 ‰ 500 μm اختيارية وقابلة للتخصيص |
english
français
Deutsch
Italiano
Русский
Español
português
Nederlandse
ελληνικά
日本語
한국
العربية
हिन्दी
Türkçe
indonesia
tiếng Việt
ไทย
বাংলা
فارسی
polski
