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| 브랜드 이름: | UW |
| MOQ: | 1세트 |
| 가격: | 협상 가능 |
| 지불 조건: | 티/티 |
장비 소개
레이저 빔은 PSG 표면을 반사하고 폴리층으로 침투합니다. 폴리층의 표면은 광자 에너지를 흡수하고 열으로 변환합니다.폴리 레이어 표면에 열 확장을 유발팽창에 의해 생성되는 힘은 PSG 구조를 파괴하고 그 밀집성을 크게 감소시킵니다. 따라서 레이저 처리 후 알칼리 청소로 변형 된 PSG를 제거 할 수 있습니다.
레이저가 비금속 영역에서 PSG에 선택적으로 작용 한 후, PSG, Poly 및 SiO2는 격자 영역에서 알칼리 청소 시간을 제어하여 순차적으로 제거 할 수 있습니다.실리콘 기판에 1~4μm까지 진열; 금속 영역의 폴리는 폴리 손가락 구조를 형성하기 위해 유지되며, 세포 수준에서 0.15%의 효율성 증가를 달성하고 주로 모듈 수준에서 양면성 향상을 달성합니다.
주요 내용
다양한 보조 기능으로 프로세스 성능을 향상시킵니다
• 플랫폼 아래 냉각 시스템은 고온 간섭을 피하고 더 나은 공정 안정성을 제공합니다.
• 더 높은 청결성을 위해 불어-수프 컨벡션과 함께 전용 먼지 제거 후프 (특허) 를 갖추고 있습니다.
• 조각 탐지, 균열 탐지 및 AOI 검사 등 다양한 검사 기능을 지원합니다.
교통 결함을 줄이기 위한 기발한 설계
• 맞춤형 슬로트 벨트와 직접 모터 연결은 더 높은 안정성을 보장하고 먼지 오염을 효과적으로 방지합니다.
• 새로운 평면 벨트는 스크래치와 틈새 같은 결함을 효과적으로 방지합니다.
• 지그에 설치된 공기 칼은 조각을 제거하고 숨겨진 균열을 방지합니다.
교통 결함을 줄이기 위한 기발한 설계
• 맞춤형 슬로트 벨트와 직접 모터 연결은 더 높은 안정성을 보장하고 먼지 오염을 효과적으로 방지합니다.
• 새로운 평면 벨트는 스크래치와 틈새 같은 결함을 효과적으로 방지합니다.
• 지그에 설치된 공기 칼은 조각을 제거하고 숨겨진 균열을 방지합니다.
다양한 필름 구조를 위한 레이저 가공
• 다양한 기술 경로와 마스크 레이어 재료
• 프로세스 요구 사항에 최적화되는 다양한 사용자 정의 레이저 소스
다양한 필름 구조를 위한 레이저 가공
• 다양한 기술 경로와 마스크 레이어 재료
• 프로세스 요구 사항에 최적화되는 다양한 사용자 정의 레이저 소스
높은 호환성을 가진 보편적 디자인
• 로딩 & 릴딩 유닛은 여러 먹이 방법과 다양한 카세트 크기를 지원합니다.
• 빈 카세트를 위한 독특한 임시 저장 위치와 함께 리프팅 회전 구조
• 조각 탐지, 균열 탐지 및 AOI 검사 등 다양한 검사 기능을 지원합니다.
기술 매개 변수
| 장비 성능 | 사양 |
| 동작 모드 | 230×230mm 및 더 작은 크기와 호환됩니다 (반 셀은 사용자 정의 될 수 있습니다) |
| 적용 가능한 셀 크기 | 230×230mm 및 더 작은 크기와 호환됩니다 (반 셀은 사용자 정의 될 수 있습니다) |
| 적용 가능한 세포 두께 | 150±50μm |
| 로딩 및 배하 모드 | AGV 로봇 도킹 |
| 레이저 처리 정확성 | PT 정확도 ≤ ±15μm, 선 간격 정확도 ≤ ±10μm |
| 시력 검사 및 위치 정확성 | 위치 정밀도 ≤ ±50μm; 20MP 카메라로 단일 카메라 분자 검출, 칩링, 코너 파열 및 분자 검출을 지원 |
| 전형적인 기계 용량 (두 트랙, 4 머리) | PSG 레이저 희석: 9000 UPH/174 버스 바 @ 182×182 mm |
| 분산율 | ≤ 0.03% @210*210mm |
| 구성 | 듀얼 트랙 4개 또는 듀얼 트랙 2개 |
| 점 크기 | 정면 평면 상단 동질 된 점, 크기 100 ∼ 500 μm 선택 및 사용자 정의 |
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