Задняя сторона Поли лазерный истончитель для TOPCon клеток Гениальный дизайн

Введение оборудования

Лазерный луч облучает поверхность ПСГ и проникает в полислой, где поверхность полислоя поглощает энергию фотонов и преобразует ее в тепло,вызывая тепловое расширение на поверхности полислоя; сила, вызванная расширением, разрушает структуру ПСГ и значительно снижает ее компактность, поэтому модифицированный ПСГ можно удалить щелочной очисткой после лазерной обработки.

После того, как лазер выборочно действует на PSG в неметаллических областях, PSG, Poly и SiO2 в несетевых областях могут последовательно удаляться путем управления временем щелочной очистки,нагрев до 1-4 мкм в кремниевой подложке; поли в металлических областях сохраняется, чтобы сформировать структуру поли-пальца, достигая эффективности на уровне ячейки на 0,15% и в основном улучшения бифациальности на уровне модуля.

Основные моменты

¢ Многочисленные вспомогательные функции для повышения производительности процесса

• Система охлаждения под платформой избегает помех при высоких температурах и обеспечивает лучшую стабильность процесса;

• оборудован специальным капотом для удаления пыли с конвекцией для повышения чистоты (патентован);

• Поддерживает различные функции проверки, включая обнаружение фрагментов, обнаружение трещин и проверку AOI.

Интеллектуальная конструкция для уменьшения транспортных дефектов

• Специальный ремень и прямое соединение двигателя обеспечивают большую стабильность и эффективно предотвращают загрязнение пылью;

• Новый плоский ремень эффективно избегает таких дефектов, как царапины и вмятины;

• Воздушный нож на подставке удаляет фрагменты и предотвращает скрытые трещины.

Интеллектуальная конструкция для уменьшения транспортных дефектов

• Специальный ремень и прямое соединение двигателя обеспечивают большую стабильность и эффективно предотвращают загрязнение пылью;

• Новый плоский ремень эффективно избегает таких дефектов, как царапины и вмятины;

• Воздушный нож на подставке удаляет фрагменты и предотвращает скрытые трещины.

√ Лазерная обработка для различных пленочных структур

• различные технические пути и материалы для маскирования;

• Многочисленные настраиваемые источники лазера для максимального соответствия требованиям процесса.

√ Лазерная обработка для различных пленочных структур

• различные технические пути и материалы для маскирования;

• Многочисленные настраиваемые источники лазера для максимального соответствия требованиям процесса.

Универсальный дизайн с высокой совместимостью

• Устройство погрузки и разгрузки поддерживает несколько способов питания и различные размеры кассет;

• подъемная и вращающаяся конструкция с уникальным временным местом хранения для пустых кассет;

• Поддерживает различные функции проверки, включая обнаружение фрагментов, обнаружение трещин и проверку AOI.

Технические параметры