La machine de dilution au laser pour les cellules TOPCon

Introduction de l'équipement

Le faisceau laser irradie la surface du PSG et pénètre dans la couche Poly, où la surface de la couche Poly absorbe l'énergie des photons et la convertit en chaleur, provoquant une dilatation thermique à la surface de la couche Poly ; la force générée par l'expansion détruit la structure du PSG et réduit considérablement sa compacité, de sorte que le PSG modifié peut être retiré par nettoyage alcalin après traitement laser.

Après que le laser a agi sélectivement sur le PSG dans les régions non métalliques, le PSG, le Poly et le SiO₂ dans les régions non grillagées peuvent être séquentiellement retirés en contrôlant le temps de nettoyage alcalin, gravant jusqu'à 1 à 4 μm dans le substrat de silicium ; le Poly dans les régions métalliques est conservé pour former une structure Poly-Finger, réalisant un gain d'efficacité de 0,15 % au niveau de la cellule et principalement une amélioration de la bifacialité au niveau du module.

Points forts

» Fonctions auxiliaires multiples pour améliorer les performances du processus

• Le système de refroidissement sous la plateforme évite les interférences à haute température et offre une meilleure stabilité du processus ;

• Équipé d'une hotte d'extraction de poussière dédiée avec convection soufflage-aspiration pour une propreté accrue (breveté) ;

• Prend en charge diverses fonctions d'inspection, y compris la détection de fragments, la détection de fissures et l'inspection AOI.

» Conception ingénieuse pour réduire les défauts de transport

• La courroie crantée personnalisée et la connexion directe au moteur garantissent une stabilité accrue et empêchent efficacement la contamination par la poussière ;

• La nouvelle courroie plate évite efficacement les défauts tels que les rayures et les indentations ;

• Le couteau à air sur le gabarit élimine les fragments et empêche les fissures cachées.

» Conception ingénieuse pour réduire les défauts de transport

• La courroie crantée personnalisée et la connexion directe au moteur garantissent une stabilité accrue et empêchent efficacement la contamination par la poussière ;

• La nouvelle courroie plate évite efficacement les défauts tels que les rayures et les indentations ;

• Le couteau à air sur le gabarit élimine les fragments et empêche les fissures cachées.

» Traitement laser pour diverses structures de films

• Diverses voies techniques et matériaux de couches masques ;

• Sources laser personnalisées multiples pour maximiser la correspondance avec les exigences du processus.

» Traitement laser pour diverses structures de films

• Diverses voies techniques et matériaux de couches masques ;

• Sources laser personnalisées multiples pour maximiser la correspondance avec les exigences du processus.

» Conception universelle avec une haute compatibilité

• L'unité de chargement et de déchargement prend en charge plusieurs méthodes d'alimentation et diverses tailles de cassettes ;

• Structure de levage-rotation avec position de stockage temporaire unique pour les cassettes vides ;

• Prend en charge diverses fonctions d'inspection, y compris la détection de fragments, la détection de fissures et l'inspection AOI.

Paramètres techniques