Μηχανή Λεπτότητας Πολυ-Λέιζερ Οπίσθιας Όψης για Κυψέλες TOPCon Ευφυούς Σχεδιασμού

Εισαγωγή Εξοπλισμού

Η δέσμη λέιζερ ακτινοβολεί την επιφάνεια PSG και διεισδύει στο στρώμα Poly, όπου η επιφάνεια του στρώματος Poly απορροφά ενέργεια φωτονίων και τη μετατρέπει σε θερμότητα, προκαλώντας θερμική διαστολή στην επιφάνεια του στρώματος Poly. Η δύναμη που παράγεται από τη διαστολή καταστρέφει τη δομή PSG και μειώνει σημαντικά τη συμπαγή της, έτσι ώστε το τροποποιημένο PSG να μπορεί να αφαιρεθεί με αλκαλικό καθαρισμό μετά από επεξεργασία με λέιζερ.

Αφού το λέιζερ δράσει επιλεκτικά στο PSG σε μη μεταλλικές περιοχές, το PSG, το Poly και το SiO₂ σε μη πλεγματικές περιοχές μπορούν να αφαιρεθούν διαδοχικά ελέγχοντας τον χρόνο αλκαλικού καθαρισμού, χαράσσοντας έως και 1-4 μm στο υπόστρωμα πυριτίου. Το Poly σε μεταλλικές περιοχές διατηρείται για να σχηματίσει μια δομή Poly-Finger, επιτυγχάνοντας αύξηση απόδοσης 0,15% σε επίπεδο κυψέλης και κυρίως βελτίωση της αμφίπλευρης λειτουργίας σε επίπεδο μονάδας.

Κύρια Σημεία

» Πολλαπλές βοηθητικές λειτουργίες για τη βελτίωση της απόδοσης της διαδικασίας

• Το σύστημα ψύξης κάτω από την πλατφόρμα αποφεύγει την παρεμβολή υψηλής θερμοκρασίας και προσφέρει καλύτερη σταθερότητα της διαδικασίας.

• Εξοπλισμένο με ειδική κουκούλα απομάκρυνσης σκόνης με κυκλοφορία αέρα-αναρρόφησης για υψηλότερη καθαριότητα (πατενταρισμένο).

• Υποστηρίζει διάφορες λειτουργίες επιθεώρησης, συμπεριλαμβανομένης της ανίχνευσης θραυσμάτων, της ανίχνευσης ρωγμών και της επιθεώρησης AOI.

» Ευφυής σχεδιασμός για τη μείωση των ελαττωμάτων μεταφοράς

• Ο προσαρμοσμένος ιμάντας με εγκοπές και η απευθείας σύνδεση κινητήρα εξασφαλίζουν υψηλότερη σταθερότητα και αποτρέπουν αποτελεσματικά τη μόλυνση από σκόνη.

• Ο νέος επίπεδος ιμάντας αποφεύγει αποτελεσματικά ελαττώματα όπως γρατζουνιές και εγκοπές.

• Ο αεροστόμιος στο στήριγμα αφαιρεί θραύσματα και αποτρέπει κρυφές ρωγμές.

» Ευφυής σχεδιασμός για τη μείωση των ελαττωμάτων μεταφοράς

• Ο προσαρμοσμένος ιμάντας με εγκοπές και η απευθείας σύνδεση κινητήρα εξασφαλίζουν υψηλότερη σταθερότητα και αποτρέπουν αποτελεσματικά τη μόλυνση από σκόνη.

• Ο νέος επίπεδος ιμάντας αποφεύγει αποτελεσματικά ελαττώματα όπως γρατζουνιές και εγκοπές.

• Ο αεροστόμιος στο στήριγμα αφαιρεί θραύσματα και αποτρέπει κρυφές ρωγμές.

» Επεξεργασία με λέιζερ για διάφορες δομές φιλμ

• Διαφορετικές τεχνικές διαδρομές και υλικά στρώματος μάσκας.

• Πολλαπλές προσαρμοσμένες πηγές λέιζερ για μέγιστη αντιστοίχιση με τις απαιτήσεις της διαδικασίας.

» Επεξεργασία με λέιζερ για διάφορες δομές φιλμ

• Διαφορετικές τεχνικές διαδρομές και υλικά στρώματος μάσκας.

• Πολλαπλές προσαρμοσμένες πηγές λέιζερ για μέγιστη αντιστοίχιση με τις απαιτήσεις της διαδικασίας.

» Καθολικός σχεδιασμός με υψηλή συμβατότητα

• Η μονάδα φόρτωσης & εκφόρτωσης υποστηρίζει πολλαπλές μεθόδους τροφοδοσίας και διάφορα μεγέθη κασετών.

• Δομή ανύψωσης-περιστροφής με μοναδική θέση προσωρινής αποθήκευσης για κενές κασέτες.

• Υποστηρίζει διάφορες λειτουργίες επιθεώρησης, συμπεριλαμβανομένης της ανίχνευσης θραυσμάτων, της ανίχνευσης ρωγμών και της επιθεώρησης AOI.

Τεχνικές Παράμετροι