دستگاه رقیق کننده لیزری پلی برای سلول های TOPCon طراحی هوشمندانه

معرفی تجهیزات

پرتو لیزر سطح PSG را تشعشع می دهد و به لایه پلی نفوذ می کند، جایی که سطح لایه پلی انرژی فوتون را جذب می کند و آن را به گرما تبدیل می کند.باعث گسترش حرارتی روی سطح لایه پلی می شودنیروی تولید شده توسط گسترش ساختار PSG را نابود می کند و فشرده سازی آن را به طور قابل توجهی کاهش می دهد، بنابراین PSG اصلاح شده می تواند با تمیز کردن قلیایی پس از درمان لیزر حذف شود.

پس از آن که لیزر به طور انتخابی بر روی PSG در مناطق غیر فلزی عمل می کند، PSG، Poly و SiO2 در مناطق غیر شبکه می تواند به ترتیب با کنترل زمان تمیز کردن قلیایی حذف شود.بر روی زیربنای سیلیکون تا ۱-۴ مکیومتر حکاکی; پلی در مناطق فلزی برای تشکیل یک ساختار Poly-Finger حفظ می شود، به دست آوردن بهره وری 0.15٪ در سطح سلول و به طور عمده یک بهبود در bifaciality در سطح ماژول.

نکات برجسته

عملکردهای کمکی متعدد برای بهبود عملکرد فرآیند

• سیستم خنک کننده زیر پلتفرم از تداخل در دمای بالا جلوگیری می کند و ثبات فرآیند را بهتر می کند.

• مجهز به یک هود مخصوص پاک کننده گرد و غبار با کنوکسیون سوپینگ برای پاکیزی بیشتر (پاتنت شده)

• از عملکردهای مختلف بازرسی از جمله تشخیص قطعات، تشخیص ترک و بازرسی AOI پشتیبانی می کند.

طراحی هوشمندانه برای کاهش نقص های حمل و نقل

• کمربند خروجی سفارشی و اتصال مستقیم موتور ثبات بیشتری را تضمین می کند و به طور موثر از آلودگی گرد و غبار جلوگیری می کند.

• کمربند مسطح جدید به طور موثر از نقص هایی مانند خراش ها و شکاف ها جلوگیری می کند.

• چاقوی هوا بر روی جیگ قطعات را از بین می برد و از ترک های پنهان جلوگیری می کند.

طراحی هوشمندانه برای کاهش نقص های حمل و نقل

• کمربند خروجی سفارشی و اتصال مستقیم موتور ثبات بیشتری را تضمین می کند و به طور موثر از آلودگی گرد و غبار جلوگیری می کند.

• کمربند مسطح جدید به طور موثر از نقص هایی مانند خراش ها و شکاف ها جلوگیری می کند.

• چاقوی هوا بر روی جیگ قطعات را از بین می برد و از ترک های پنهان جلوگیری می کند.

- پردازش لیزر برای ساختارهای مختلف فیلم

• مسیرهای فنی متنوع و مواد لایه ماسک؛

• چندین منبع لیزر سفارشی برای حداکثر کردن تطابق با نیازهای فرآیند.

- پردازش لیزر برای ساختارهای مختلف فیلم

• مسیرهای فنی متنوع و مواد لایه ماسک؛

• چندین منبع لیزر سفارشی برای حداکثر کردن تطابق با نیازهای فرآیند.

طراحی جهانی با سازگاری بالا

• واحد بارگیری و تخلیه از روش های تغذیه متعدد و اندازه های مختلف کاست پشتیبانی می کند؛

• ساختاری بلند-گردشی با موقعیت ذخیره سازی موقت منحصر به فرد برای کاست های خالی

• از عملکردهای مختلف بازرسی از جمله تشخیص قطعات، تشخیص ترک و بازرسی AOI پشتیبانی می کند.

پارامترهای فنی