장비 소개
자체 개발한 레이저 및 광학 경로 구조를 채택하여 페로브스카이트 스크라이빙 및 페로브스카이트 층의 엣지 클리닝을 위해 설계된 장비입니다. 먼저 초고속 레이저를 사용하여 절단 및 변형을 수행한 후 CO₂ 레이저를 사용하여 웨이퍼를 분리하여 칩핑 및 균열 없이 고품질 처리를 달성합니다.
주요 특징
자체 개발한 피코초 레이저를 절단용으로, 자체 개발한 반도체 레이저를 분할용으로 채택하고, 통합 UW 절단 및 분할 광학 출력 헤드를 장착했습니다.
전체 기계는 모듈식 및 유연한 설계로 간단한 작동이 가능합니다.
정확한 식별 및 위치 지정을 위한 자동 초점 및 정렬 비전 모듈을 장착했습니다.
분할 후 칩핑이 극히 적고, 미세 균열이 없으며, 높은 절단 품질과 높은 처리 효율을 제공합니다.
기술 매개변수
| 장비 성능 | 사양 |
| 작동 모드 | 수동 및 자동 생산 모드 모두 호환 |
| 적용 가능한 크기 | 제품 크기에 따라 맞춤 설정 가능 |
| 레이저 | 절단: UW-Ps-100; 분할: UW-915-200 |
| 광학 시스템 | UW 자체 개발 통합 절단 및 분할 광학 출력 헤드 장착 |
| 적용 가능한 두께 | 1-8mm (맞춤 설정 가능) |
| 적재 및 하역 방법 | 수동 적재 및 하역, 상하 생산 라인과 연결 가능 |
| 칩핑 크기 | 5μm 미만 |
| 직진도 | ±5μm |
| 기계 치수 | 1800*1400*2300mm |