장비 소개
본 장비는 페로브스카이트, 광흡수층 또는 금속 전극층을 가공하기 위해 피코초 레이저를 채택합니다. 짧은 펄스 고피크 레이저로 구동되어 재료 표면에 스크라이빙 시 가장자리에 크레이터가 발생하지 않으며, 제어 가능하고 안정적인 가공 결과를 제공합니다. TCO 기판을 손상시키지 않고 목표 박막층을 정밀한 깊이까지 정확하게 위치시키고 제거할 수 있으며, 스크라이빙된 홈은 바닥면의 평탄도와 일관성이 뛰어납니다.
주요 특징
레이저
| IR/녹색/UV 피코초 레이저 | 전력 |
| 5-60W, 옵션 | 적용 가능한 셀 크기 |
| 600x600mm (맞춤 제작 가능) | 직진도 |
| <5μm/m | 위치 결정 정확도 |
| ±5μm | 반복 위치 결정 정확도 |
| ±2μm | 데드 존 |
| <100μm | 스팟 모양 |
| 사각형 또는 원형 스팟 | 라인 폭 |
| 20-100μm, 조절 가능 | 장비 치수 (L x W x H) |
| 2500*2000*2500mm | |