| Merknaam: | UW |
| MOQ: | 1SET |
| Prijs: | Bespreekbaar |
| Betalingsvoorwaarden: | T/T |
Apparatuur Overzicht
De apparatuur is ontworpen voor het markeren van wafers tot 8 inch grootte, evenals voor het krassen van MARK-punten en karakters op ITO-glas.
Hoogtepunten
• Hoge-Precisie Herkenning: Uitgerust met één set hoge-precisie uitlijncamera's, twee sets globale herkenningscamera's en één set zelfinspectiecamera.
• Hoge-Precisie Assemblage: Beschikt over een marmeren basis en hoge-precisie lineaire motoren voor de aandrijfassen.
• Superieure Nauwkeurigheid: Levert hoge markeerprecisie en is uitgerust met een zelfinspectiefunctie na het markeren.
Technische Specificaties
| Parameter Naam | Parameter Waarde |
| Marmeren Positioneringsnauwkeurigheid | ≤ 10μm (Fabrieks-parallellisme / Vlakheid / Loodrecht / Haaksheid) |
| XY Herhaalbaarheid | ±0.5μm |
| XY Rechtlijnigheid | 3μm (Binnen elke 300 mm bereik) |
| Laser Z-as Herhaalbaarheid | ±3μm |
| Resolutie | 1920pixel×2560pixel |
| Visuele Nauwkeurigheid | 1pix = 1μm (FOV binnen 2 mm) |
| Laser Bron | Picoseconde Laser |
| Golflengte (nm) | 300nm - 600nm |
| Temperatuur Parameters | Temperatuurbereik 10 - 40°C, ±0.1°C |
| Afmetingen | B: 1650 mm; H: 1070 mm; D: 1900 mm (Onder voorbehoud van eindproduct) |
| Gewicht | 1800 KG (Onder voorbehoud van eindproduct) |
| Afmetingen | Tot 8 inch |
| Wafer | Lijnbreedte ≤ 50μm, Positioneringsnauwkeurigheid ±0.01 mm |
| ITO Glas | Lijnbreedte ≤ 50μm, Positioneringsnauwkeurigheid ±0.01 mm |
| Laser Uitvoermodus | Galvo Scanner / Uitvoerkop |