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| Markenbezeichnung: | UW |
| MOQ: | 1 SATZ |
| Preis: | Verhandelbar |
| Zahlungsbedingungen: | T/T |
Geräteübersicht
Das Gerät ist für die Kennzeichnung von Wafern bis zu 8 Zoll Größe sowie für das Ritzen von MARK-Punkten und Zeichen auf ITO-Glas ausgelegt.
Highlights
• Hochpräzise Erkennung: Ausgestattet mit einem Satz hochpräziser Ausrichtungskameras, zwei Sätzen globaler Erkennungskameras und einem Satz von Selbstinspektionskameras.
• Hochpräzise Montage: Verfügt über eine Marmorbasis und hochpräzise Linearmotoren für die Antriebsachsen.
• Überlegene Genauigkeit: Bietet hohe Markierungsgenauigkeit und ist mit einer Selbstinspektionsfunktion nach der Markierung ausgestattet.
Technische Spezifikationen
| Parametername | Parameterwert |
| Marmor-Positionierungsgenauigkeit | ≤ 10μm (Werkseitige Parallelität / Ebenheit / Rechtwinkligkeit / Rechtwinkligkeit) |
| XY-Wiederholgenauigkeit | ±0,5μm |
| XY-Geradheit | 3μm (Innerhalb jedes 300-mm-Bereichs) |
| Laser-Z-Achsen-Wiederholgenauigkeit | ±3μm |
| Auflösung | 1920 Pixel × 2560 Pixel |
| Vision-Genauigkeit | 1 Pixel = 1μm (Sichtfeld innerhalb von 2 mm) |
| Laserquelle | Pikosekundenlaser |
| Wellenlänge (nm) | 300 nm - 600 nm |
| Temperaturparameter | Temperaturbereich 10 - 40°C, ±0,1°C |
| Abmessungen | B: 1650 mm; H: 1070 mm; T: 1900 mm (Vorbehaltlich des Endprodukts) |
| Gewicht | 1800 KG (Vorbehaltlich des Endprodukts) |
| Abmessungen | Bis zu 8 Zoll |
| Wafer | Linienbreite ≤ 50μm, Positionierungsgenauigkeit ±0,01 mm |
| ITO-Glas | Linienbreite ≤ 50μm, Positionierungsgenauigkeit ±0,01 mm |
| Laser-Ausgabemodus | Galvo-Scanner / Ausgangskopf |
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