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Máquina de Gravação a Laser Picosegundo para Bolachas de até 8 Polegadas de Alta Precisão

Máquina de Gravação a Laser Picosegundo para Bolachas de até 8 Polegadas de Alta Precisão

Nome da marca: UW
MOQ: 1 CONJUNTO
Preço: Negociável
Condições de pagamento: T/T
Informações detalhadas
Certificação:
CE ISO
Precisão de posicionamento do mármore:
≤ 10μm (paralelismo de fábrica/planicidade/perpendicularidade/quadratura)
Resolução:
1920 pixels × 2560 pixels
Fonte de laser:
Laser do picosegundo
Comprimento de onda (nm):
300nm - 600nm
Dimensões:
Até 8 polegadas
Modo de saída do laser:
Scanner Galvo/Cabeçote de Saída
Detalhes da embalagem:
Caixa de papelão/caixa de madeira
Destacar:

Máquina de Gravação a Laser Picosegundo para Bolachas

,

Máquina de Gravação de Bolachas de Alta Precisão

Descrição do produto

Visão geral dos equipamentos

O equipamento é concebido para marcar wafers de até 8 polegadas de tamanho, bem como para escrever pontos e caracteres MARK no vidro ITO.

 

Destaques

• Reconhecimento de alta precisão: equipado com um conjunto de câmaras de alinhamento de alta precisão, dois conjuntos de câmaras de reconhecimento global e um conjunto de câmara de auto-inspecção.

• Montagem de alta precisão: apresenta uma base de mármore e motores lineares de alta precisão para os eixos de accionamento.

• Precisão superior: proporciona uma elevada precisão de marcação e está equipado com uma função de auto-inspecção após a marcação.

 

Especificações técnicas

Nome do parâmetro Valor do parâmetro
Precisão de posicionamento do mármore ≤ 10 μm (parallelismo de fábrica / planície / perpendicularidade / quadratura)
Repetitividade XY ± 0,5 μm
Direcção XY 3 μm (dentro de cada intervalo de 300 mm)
Repetitividade do eixo Z do laser ± 3 μm
Resolução 1920 pixel × 2560 pixel
Precisão da visão 1 pix = 1μm (FOV dentro de 2 mm)
Fonte de laser Laser de picossegundos
Comprimento de onda (nm) 300 nm - 600 nm
Parâmetros de temperatura Intervalo de temperatura 10 - 40°C, ±0,1°C
Dimensões W: 1650 mm; H: 1070 mm; D: 1900 mm (dependendo do produto final)
Peso 1800 kg (submetido ao produto final)
Dimensões Até 8 polegadas
Orifícios Largura da linha ≤ 50μm, precisão de posicionamento ±0,01 mm
Vidro ITO Largura da linha ≤ 50μm, precisão de posicionamento ±0,01 mm
Modo de saída do laser Galvo Scanner / cabeça de saída