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| ブランド名: | UW |
| MOQ: | 1セット |
| 価格: | 交渉可能 |
| 支払条件: | T/T |
設備の概要
この装置は,最大8インチのサイズまでのウエフルをマークし,IOTガラスにマークポイントと文字を書き込むために設計されています.
ハイライト
• 高精度認識: 高精度アライナメントカメラ1セット,グローバル認識カメラ2セット,自己検査カメラ1セットを装備.
• 高精度組成: 引力軸に備える大理石ベースと高精度線形モーターを備えています.
• 優れた精度: 標識の精度が高く,標識後に自己検査機能が備わっています.
テクニカル仕様
| パラメータ名 | パラメータ値 |
| マルブル位置位置の精度 | ≤ 10μm (工場並列性/平面性/垂直性/四角性) |
| XY 繰り返し性 | ±0.5μm |
| XY ストレート | 3μm (300mm の範囲内) |
| レーザー Z 軸 繰り返し | ±3μm |
| 決議 | 1920ピクセル×2560ピクセル |
| 視力の正確さ | 1pix = 1μm (FOVは2mm以内) |
| レーザー源 | ピコ秒レーザー |
| 波長 (nm) | 300nm - 600nm |
| 温度パラメータ | 温度範囲 10~40°C ±0.1°C |
| サイズ | W: 1650mm; H: 1070mm; D: 1900mm (最終製品による) |
| 体重 | 1800KG (最終製品による) |
| サイズ | 8インチまで |
| ウェーファー | ライン幅 ≤ 50μm,位置位置精度 ±0.01mm |
| ITO ガラス | ライン幅 ≤ 50μm,位置位置精度 ±0.01mm |
| レーザー出力モード | ガルボスキャナー/出力ヘッド |
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