Μονομερής Σχεδίαση Μηχανή Χάραξης Laser Περουσκίτη P2 P3 Υψηλής Ακριβούς Θέσης

Εισαγωγή εξοπλισμού

Αυτό το μηχάνημα υιοθετεί ένα λέιζερ μικροδευτερολέπτου για την επεξεργασία περοβσκίτη, φωτεινών στρωμάτων ή στρωμάτων μεταλλικών ηλεκτροδίων.διασφαλίζει ότι δεν υπάρχουν κρατήρες στις άκρες κατά την εγγραφή στην επιφάνεια του υλικού, παρέχοντας ελεγχόμενα και σταθερά αποτελέσματα επεξεργασίας. Μπορεί να τοποθετήσει με ακρίβεια και να αφαιρέσει τα στρώματα φιλμ στόχου σε ακριβές βάθος χωρίς να βλάψει το υπόστρωμα TCO,και οι διαχωρισμένες αυλακώσεις έχουν εξαιρετική επίπεδη και σταθερή κατάσταση στο κάτω μέρος..

Σημαντικά σημεία

• Αυτο-αναπτυγμένο λέιζερ και οπτικό σχεδιασμό· πλάτος γραμμής γραφήματος ρυθμιζόμενο από 20-100μm, κρατήρας P2 <50nm, κρατήρας P3 <100nm.
• Μονωδική και ευέλικτη συνολική σχεδίαση: P2/P3 ενσωματωμένο σε μία μηχανή για εύκολη λειτουργία.
• Υψηλής ακρίβειας οπτική παρακολούθηση και υψηλής ταχύτητας ευέλικτος μηχανισμός μετάδοσης, νεκρή ζώνη < 100μm εφικτή.
• Ανεξάρτητα αναπτυγμένα συστήματα εκχύλισης σκόνης, αερισμού, οπτικής θέσης και εντοπισμού εστίασης.
• Αυτο-αναπτύχθηκε σύστημα διπλής οπτικής διαδρομής για επεξεργασία με ένα σταθμό, επιτρέποντας την εγγραφή P2/P3.
• Συστήματα καθαρισμού αερίων προαιρετικά: πραγματοποιεί κυκλικό καθαρισμό αερίων για την αφαίρεση νερού, οξυγόνου και οργανικών αερίων, επιτυγχάνοντας επίπεδο H2O & O2 κάτω από 1PPM.
• Σφραγισμένος θάλαμος (κατάστημα με γάντια) προαιρετικός: κατασκευασμένος από ανοξείδωτο χάλυβα ή ακρυλικό, γεμάτος με αδρανές αέριο, εξοπλισμένος με θύρες γάντιων και γάντια για λειτουργία.
• Μηχανική δομή που αποτελείται από μαρμάρινη πλατφόρμα και γραμμικό κινητήρα υψηλής ακρίβειας, με οπτικό σύστημα και εξαρτήματα διαδικασίας.
• Οπτικό σύστημα: αποτελούμενο από υπερταχείο λέιζερ, διευρυτήρα δέσμης, ανακλαστήρα, DOE, φακό εστίασης και άλλα στοιχεία.

Τεχνικές παραμέτρους