Модульная конструкция лазерной маркировочной машины для перовскита P2 P3 с высокой точностью позиционирования

Введение оборудования

Эта машина использует пикосекундный лазер для обработки перовскита, светопоглощающих слоев или слоев металлических электродов.Он гарантирует отсутствие кратеров на краях при написании на поверхности материала., обеспечивающий контролируемые и стабильные результаты обработки. Он может точно размещать и удалять целевые слои пленки на точной глубине, не повреждая субстрат TCO,и высеченные канавки отличаются отличной плоскостью и консистенцией внизу.

Основные моменты

• Самостоятельно разработанная лазерная и оптическая конструкция; ширина линий записывания регулируется от 20 до 100 мкм, кратер P2 < 50 нм, кратер P3 < 100 нм.
• Модульная и гибкая общая конструкция; P2/P3 интегрированы в одну машину для легкой эксплуатации.
• Высокоточная визуальная слежка и высокоскоростная гибкая механическая передача, достижимость мертвой зоны < 100 мкм.
• Независимо разработанные системы извлечения пыли, воздушного дуния, визуального позиционирования и отслеживания фокуса.
• Самостоятельно разработанная система двойного оптического пути для обработки на одной станции, позволяющая записывать P2/P3.
• Система очистки газа необязательна: реализует циклическую очистку газа для удаления воды, кислорода и органических газов, достигая уровня H2O и O2 ниже 1PPM.
• Запечатанная камера (коробка для перчаток) необязательна: изготовлена из нержавеющей стали или акрила, заполнена инертным газом, оснащена перчатками и перчатками для работы.
• Механическая конструкция, состоящая из мраморной платформы и высокоточного линейного двигателя с оптической системой и процессовыми приспособлениями.
• Оптическая система: состоит из сверхбыстрых лазеров, расширителя луча, отражателя, DOE, фокусирующей линзы и других компонентов.

Технические параметры